数据显示，月日元位7月23日，华夏F获华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购3.15亿元，上证设备位居当日股票ETF净流入排名16/1270。科创最新规模320.49亿元，板半前一日规模331.75亿元，导体当日资金净流入额占前一日规模的材料比例为0.95%。

近5日，主题华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购14.89亿元，净申居当净流位居股票ETF净流入排名第19/1270。购亿近10日，日股入排华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购85.93亿元，月日元位位居股票ETF净流入排名第5/1270。华夏F获近20日，上证设备华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF(588170)获净申购245.62亿元，科创位居股票ETF净流入排名第2/1270。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）成立于2025年3月24日，基金全称为华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金，基金简称为华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF。该基金管理费率每年0.50%，托管费率每年0.10%。华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）跟踪标的指数为科创半导体材料设备（950125）。

规模部分，截止7月23日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）最新份额为327.63亿份，最新规模为320.49亿元。回顾2025年12月31日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）份额为24.47亿份，规模为36.77亿元。即该基金今年以来份额提高1238.84%，规模提高771.53%。

流动性部分，截止7月23日，华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）近20个交易日往往方式成交金额1391.79亿元，日均成交金额69.59亿元；今年以来，133个交易日，往往方式成交金额2995.2亿元，日均成交金额22.52亿元。

华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）现任基金经理为杨斯琪、荣膺。杨斯琪自2025年3月24日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益193.46%；荣膺自2026年6月22日管理（或拟管理）该基金，任职期内收益-8.75%。

最新定期报告显示，华夏基金（588170）重仓股涵盖华海清科、中微公司、中科高效测、拓荆科技、华峰测控、芯源微、沪硅产业、盛美上海、安集科技、富创精密，持仓占例如下：

跟踪科创半导体材料设备（950125）的ETF涵盖华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF（588170）、华泰柏瑞上证科创板半导体材料设备主题ETF（588710）、鹏华科创板半导体材料设备主题ETF（589020），规模、流动性、近期资金净申购状况如下：

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